1. Навигация:
  2. Книги технической тематики
  3. Техническая книга
  4. Г. Красников Конструктивно-технологические особенности субмикронных МОП-транзисторов

Г. Красников Конструктивно-технологические особенности субмикронных МОП-транзисторов

Описание :В книге рассмотрены особенности работы субмикронных МОП-транзисторов, описаны направления развития и ограничения применения методов масштабирования транзисторов, представлены требования к подзатворным диэлектрикам и технологии их формирования, различные конструкции сток-истоковых областей МОПТ и технологические процессы создания мелкозалегающих легированных слоев. Рассмотрены проблемы влияния масштабирования размеров элементов в субмикронную область и особенностей технологических процессов на надежность и долговечность субмикронных МОП-транзисторов. Представлены данные о влиянии технологических процессов изготовления субмикронных СБИС (процессов плазменной обработки, ионного легирования и технологических операций переноса изображения) на деградацию подзатворного диэлектрика, а значит - на уровень выхода, надежность и долговечность годных готовых изделий. Книга предназначена для специалистов в области проектирования и разработки технологии изготовления КМОП СБИС, а также для студентов старших курсов, аспирантов и преподавателей технических вузов.

author: Г. Красников
isbn: 978-5-94836-289-2
Автор: Геннадий Красников
Вес: 1230
Высота упаковки: 30
Глубина упаковки: 240
Произведение: Конструктивно-технологические особенности субмикронных МОП-транзисторов
Тип издания: Отдельное издание
Тип обложки: Твердый переплет
Тираж: 1000
Ширина упаковки: 170

Вас еще может заинтересовать что-то из этого:

Р. Э. Тигранян Измерительная
лаборатория на базе ради
Р. Э. Тигранян Измерительная лаборатория на базе радиоприемника
135 руб.
С. Л. Дубровский Как
собрать металлоискатели
С. Л. Дубровский Как собрать металлоискатели своими руками
75 руб.
С. П. Скобелев Фазированные
антенные решетки с секто
С. П. Скобелев Фазированные антенные решетки с секторными парциальными диаграммами направленности
1,400 руб.
И. В. Гончаренко Антенны
КВ и УКВ. Часть 2. Основ
И. В. Гончаренко Антенны КВ и УКВ. Часть 2. Основы и практика
580 руб.
Под редакцией С. А.
Дмитриева, Н. Н. Слепов
Под редакцией С. А. Дмитриева, Н. Н. Слепов Волоконно-оптическая техника. Современное состояние и новые перспективы
760 руб.
Проектирование систем цифровой и
смешанной обработки сигн
Проектирование систем цифровой и смешанной обработки сигналов
570 руб.
Ф. Е. Шуберт Светодиоды
смешанной обработки сигн
Ф. Е. Шуберт Светодиоды
950 руб.