1. Навигация:
  2. Книги технической тематики
  3. Электроника
  4. Коллектив авторов Фундаментальные основы процессов химического осаждения пленок и структур для наноэлектроники

Коллектив авторов Фундаментальные основы процессов химического осаждения пленок и структур для наноэлектроники

Описание :В монографии представлены результаты развития процессов химического осаждения из газовой фазы металлических и диэлектрических пленок с использованием нетрадиционных летучих исходных соединений, а именно, комплексных соединений металлов и кремнийорганических соединений, синтезируемых в ИНХ СО РАН и ИрИХ СО РАН. Рассматриваются результаты исследования физико-химических свойств исходных соединений. Изложены принципы выбора исходных соединений, основанные на исследовании их термодинамических свойств и термодинамическом моделировании MO CVD процессов. Получены и исследованы наиболее важные для современной электроники и наноэлектроники материалы: металлические пленки (Cu, Ni, Ru, Ir), диэлектрические пленки с высоким (high-k) и низким (low-k) значением диэлектрической проницаемости. Изучены химический, фазовый состав и структура простых и сложных оксидов на основе HfO 2 (high-k диэлектрики), а также карбонитридов бора, карбонитридов и оксикарбонитридов кремния (low-k диэлектрики). Книга адресуется студентам, аспирантам, инженерам и научным сотрудникам, занимающимся химией твердого тела, микроэлектроникой и технологией материалов электронной техники.

author: Коллектив авторов
isbn: 978-5-7692-0669-6, 978-5-7692-1272-7

Вас еще может заинтересовать что-то из этого:

Коллектив авторов Метаматериалы и
структурно организованны
Коллектив авторов Метаматериалы и структурно организованные среды для оптоэлектроники, СВЧ-техники и нанофотоники
1,100 руб.
Богатырев А. Электронные системы
мобильных машин. Учебное
Богатырев А. Электронные системы мобильных машин. Учебное пособие
540 руб.
Н. С. Голубева, В.
Н. Митрохин Основы радио
Н. С. Голубева, В. Н. Митрохин Основы радиоэлектроники сверхвысоких частот
425 руб.
Р. Э. Тигранян Хрестоматия
радиолюбителя. Том 2
Р. Э. Тигранян Хрестоматия радиолюбителя. Том 2
920 руб.
Ю. М. Перунов, В.
В. Мацукевич, А. А. Васи
Ю. М. Перунов, В. В. Мацукевич, А. А. Васильев Зарубежные радиоэлектронные средства (комплект из 4 книг)
13,490 руб.
А. П. Кашкаров Электроника
в автомобиле. Схемы. Уст
А. П. Кашкаров Электроника в автомобиле. Схемы. Устройства. Доработка
365 руб.